**精密特种加工
加工精度以纳米,甚至较终以原子单位(原子晶格距离为0.1~0.2纳米)为目标时,切削加工方法已不能适应,需要借助特种加工的方法,即应用化学能、电化学能、热能或电能等,使这些能量追赶原子间的结合能,从而去除工件表面的部分原子间的附着、结合或晶格变形,以达到**精密加工的目的。属于这类加工的**械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。这些方法的特点是对表面层物质去除或添加的量可以作较细微的控制。但是要获得**精密的加工精度,仍有赖于精密的加工设备和的控制系统,并采用**精密掩膜作中介物。例如**大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂(见光刻)进行曝射,使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解),再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉,制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台定位精度高达±0.01微米的**精密加工设备。
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发展方向
高精度与高效率精密加工和**精密加工虽能获得较高的表面质量和表面完整性,但以牺牲加工效率为保证。探索能兼顾效率与精度的加工方法?成为**精密加工领球研究人员的目标。如半固着磨粒加工、电解磁力研磨、磁流变磨料流加工等复合加工方法的诞生。
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机械加工
机械加工厂强调机械加工要满足一定的精密度,是指钢件在机械加工后的实际上几何图形主要参数与零件图纸所要求的理想化值的相一致的水平。而他们中间不相一致的水平,则称之为生产加工偏差。
机械加工厂生产加工精密度包含3个层面:一方面是规格精密度,限定生产加工表层两者之间标准标准间规格偏差不**出必须的范畴;另一方面几何图形样子精密度,限定生产加工表层的宏观经济几何图形样子偏差,如圆度、圆柱度、平行度和直线度等。
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