**精密特种加工
加工精度以纳米,甚至较终以原子单位(原子晶格距离为0.1~0.2纳米)为目标时,切削加工方法已不能适应,需要借助特种加工的方法,即应用化学能、电化学能、热能或电能等,使这些能量追赶原子间的结合能,机械加工工艺,从而去除工件表面的部分原子间的附着、结合或晶格变形,以达到**精密加工的目的。属于这类加工的**械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。这些方法的特点是对表面层物质去除或添加的量可以作较细微的控制。但是要获得**精密的加工精度,仍有赖于精密的加工设备和的控制系统,并采用**精密掩膜作中介物。例如**大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂(见光刻)进行曝射,唐山机械加工,使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解),再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉,制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台定位精度高达±0.01微米的**精密加工设备。
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机械加工前期需要准备工作
光电式静止,机械式转450~600rpm。分中碰数手动移动工作台X轴,使碰数头碰工件一侧面,当碰数头刚碰到工件使红灯亮时,就设定这点的相对坐标值为零;再手动移动工作台X轴使碰数头碰工件的另一侧面,当碰数头刚碰上工件时记下这时的相对坐标。
根据其相对值减去碰数头的直径(即工件的长度),机械加工公司,检查工件的长度是否合符图纸要求。
把这个相对坐标数除以2,所得数值就是工件X轴的中间数值,再移动工作台到X轴上的中间数值,把这点的X轴的相对坐标值设定为零,这点就是工件X轴上的零位。
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**精密切削加工
主要有**精密车削、镜面磨削和研磨等。在**精密车床上用经过精细研磨的单晶金刚石车刀进行微量车削,切削厚度仅1微米左右,常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、表面高度光洁的零件。例如加工核聚变装置用的直径为800毫米的非球面反射镜,精度可达0.1微米,表面粗糙度为Rz0.05微米。
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